KOFLOC質量流量控制器
產品(pin)特(te)色: 通過采(cai)用改良型恒定電流(liu)溫度差(cha)檢測(ce)方式流(liu)量傳感器,實現快速回(hui)應。 通(tong)用的常閉型閥門確保了安全 使用電(dian)磁執行(xing)器(qi)保證了高效的(de)可靠性 低差壓類型(xing)控制適用于燃燒的氣體(ti)(LP可選(xuan)) 另有針(zhen)對PM2.5設備特(te)制品:流量16.7L/MIN,低壓差15Kpa既可,*,高性價比 KOFLOC質量流量控制器
技(ji)術(shu)參數: 流量(liang)FS(N2換(huan)算):10SCCM-20SLPM(3660系列) 30SLPM-100SLPM(3665系列) 氣體種(zhong)類(lei):所有(you)氣體(腐蝕性(xing)、有(you)毒、特殊氣體都可) 傳(chuan)感器(qi)類型:熱式傳(chuan)感器(qi) 閥門類(lei)型:電(dian)磁比例閥,常閉 控(kong)制(zhi)范圍(wei):2%-(3660系列(lie)) 5%-(3665系列) 控制速度:2%-,2秒以內 控制精度:±1.0%FS(3660系列(lie)) ±1.5%FS(3665系列) 重復性(xing):±0.5%FS 工作(zuo)差壓:滿量程FS≤5升/分鐘,49-294Kpa 5升/分(fen)鐘≤滿量(liang)程FS≤100升/分(fen)鐘,98-294Kpa 低(di)差壓(ya)特制:2-149Kpa,根據(ju)具體流量來定制 高差壓特制(zhi):294-784Kpa,根(gen)據具體流量(liang)來定制(zhi) 使用(yong)溫度:0-50℃ 允許濕度:0-90% 泄(xie)漏率:≤1x10-8Pa.m3 /sec(不(bu)包含He) 產品材質(zhi):主(zhu)體-SUS316 密封圈(quan):Viton 可另選(xuan):氯丁(ding)橡膠(jiao),橡膠(jiao)NBR 管路(lu)接頭:1/4英寸卡套(3660系列) 3/8英寸卡套(3665系(xi)列) 可(ke)另選:1/8英寸(cun)卡套、1/4英寸(cun)VCR、RC1/4英寸(cun)、特(te)殊要求可(ke)定制 電(dian)氣接(jie)頭(tou):D型9針(zhen) 輸入信號(hao):0-5V(模擬信號(hao)) 輸(shu)出信(xin)號:0-5V(模(mo)擬信(xin)號) 供應電源(yuan):+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)200mA 產品重量:800g(3660系列)、1000G(3665系列.
電氣(qi)D型(xing)9針連線(xian)示意(yi)圖(tu): 1號針:閥(fa)門(men)開關信號(可不接) 2號針:輸(shu)出信號0-5V 3號針(zhen):電(dian)源+15VDC 4號針(zhen):電源COM 5號針(zhen):電源(yuan)-15VDC( 6號針(zhen):輸入信號0-5V 7號針:輸出信(xin)號COM 8號針:輸入信(xin)號COM 9號針:閥門電(dian)壓(ya)輸出(chu)
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